真空材料的外表净化是为了扫除净尽外表吸附的油污，以减损材料在真空寂的气体放出。真空材料外表净化的基本办法主要是有机溶剂清洗和超引起听觉的振动波清洗。有机溶剂清洗时，常用的清洗液有软化水、酒精、丙酮、金属清洗剂等。
超引起听觉的振动波清洗的工作原理:向液体导入超引起听觉的振动波后，液体的紧张运动使部分萌生压强差。压强低的局部会萌生数量多的气泡儿，当压强从新升高时，这些个气泡儿会在刹那出现裂缝，因此在液体中萌生冲击波。冲击波会将固体外表的油污脱落。超引起听觉的振动波清洗用的液体普通认为合适而使用乙醇或丙酮。通过超引起听觉的振动波清洗的器件放到大气中后，乙醇或丙酮会马上蒸发，不会在器件外表留下水锈。
真空体腔以及内里器件的气体放出量，和材料的表平面或物体表面的大小直接有关。固体外表的原子疏密程度大约为2×1019 m-2，思索问题到外表的凹凸不公平，实际的固体外表会吸附数量多的气体分子。经过打光使外表更加没有凹凸，可以大大减小表平面或物体表面的大小，因此减损外表吸附的气体分子。打光主要有玻璃丸喷砂和电解打光两种手法。
玻璃丸喷砂处置成本低，不过处置后的固体外表光洁度大，放发泄体还是比较多，到现在为止认为合适而使用的越来越少。
电解打光的原理是将金属器件安放于酸性的电解液中，金属器件连署阳极，电极和器皿作为负极，通电使金属器件面向负极的凸起局部先溶解，金属器件成分中的Fe和Ni原子溶入到电解液中，最后达到平而光滑外表的目标。灵活设置负极电极，则对于筒状的金属器件里外外表都可以打光，也可以对金属器件施行挑选性部分打光。
还有一种特别的外表处置形式，即向真空体腔内导入特别气体，在体腔内诱发放电，萌生的离子撞击体腔内壁而取得平而光滑外表。
通过外表净化的真空体腔和器件，不可以直接用手触碰，免得手汗中的碳氢化合物和氯化物污染;额外也要尽力防止尘土和水汽(唾沫)等污染物。
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