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常见的几种低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

  按照低温介质的供给方式,低温泵分为三种类型:

小型制冷机低温泵

 
闭循环小型制冷机低温泵是由低温泵体、抽气低温板、辐射屏蔽板、制冷机和压缩机等部分组成。和流程低温泵的最大区别是制冷机一、二级冷头直接和辐射屏、冷板相连,在制冷机与压缩机连接管路中流动的是常温、高(或低)压气体介质,不存在低温介质的输送问题,兼有流程低温泵和贮槽式低温泵的优点,是目前比较理想的清洁超高真空泵。广泛用于薄膜制备、微电子学技术、高能物理、小型环模设备以及其它各工业领域。

贮槽式低温泵 

  低温介质(液氦)直接注入泵内贮槽,使气体冷凝达到抽气目的。其优点是泵的体积小、无振动、无噪声、操作简便,适用于大专院校及科研单位和高能加速器等大型真空工程。缺点是运转费用高,每次加注低温介质的使用时间短,需长期连续运转的真空系统要定期补充工作介质,并且受到低温介质供应条件的限制。

  流程低温泵

  泵中低温板冷却管和制冷膨胀机相联接,低温介质(气氦)通过外管路供给低温泵,吸收低温板热量后再回到制冷压缩机,形成封闭循环,这种低温泵的体积庞大、管路复杂、管路冷损较大。优点是制冷功率大,最适宜抽除大气量或大型真空室,广泛用于空间环模设备、受控热核反应装置、火箭发动机高空点火试验以及低压空气动力学试验等。


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